Ikeda Lab.

Conference

会議等での発表

  • Y. Nakano, K. Asada, and T. Sugano, "Dwtection of Ions in Reactive Etching Plasma Using QMS Without the Ionizer," 第6回イオン源とイオンを基礎とした応用技術, p.241, Jun. 1982,
  • 中野 義昭, 浅田 邦博, and 菅野 卓雄, (in Japanese) "一部改造した四重極質量分析計によるRIEプラズマ中のイオン質量分析," 電子通信学会半導体・トランジスタ研究会, SSD82-47, 1982,
  • 飯島 晋平, 松本 比呂志, 浅田 邦博, and 菅野 卓雄, (in Japanese) "反応性イオンエッチングにおけるプラズマの発光分析とSiおよびSiO2のエッチング速度との関連," 電子通信学会半導体・トランジスタ研究会, SSD82-48, 1982,
  • 浅田 邦博 and 菅野 卓雄, (in Japanese) "DLTS信号の自動処理," 1981年(昭和56年)秋季第42回応用物理学会学術講演会, 9p-C-1, 1981,
  • 松本 比呂志, 浅田 邦博, and 菅野 卓雄, (in Japanese) "スタンフォード大学プロセスシミュレータ SUPREMについて," 電気学会研究会資料:電子デバイス,システム,制御合同研究会, EDD 81,p.1, 1981,
  • 浅田 邦博 and 菅野 卓雄, (in Japanese) "計算機を用いたDLTS測定の自動化," 1981年(昭和56年)春期第28回応用物理学関係連合講演会, 30a-L-8, 1981,
  • 浅田 邦博 and 菅野 卓雄, (in Japanese) "ディジタル化した高速DLTS測定装置の試作," 応用物理学会応用電子物性分科会研究報告, 1981,
  • 浅田 邦博 and 菅野 卓雄, (in Japanese) "ディジタル化自動DLTS測定装置の試作," 電子通信学会半導体トランジスタ研究会, SSD81-21,p.1, 1981,
  • 葉 清発, 桜井 貴康, 浅田 邦博, and 菅野 卓雄, (in Japanese) "SiO2中の中性トラップの測定," 電子通信学会半導体トランジスタ研究会, SSD81-48,p.7-14, 1981,
  • 菅野 卓雄 and 浅田 邦博, (in Japanese) "LSIの進歩と教育の役割," 昭和55年電気四学会連合大会, No.17-6,pp.75-78, 1980,
  • 大山, 浅田 邦博, 斉藤 忠夫, and 猪瀬 博, (in Japanese) "分散型データフロー計算機のプログラムモデルを用いた性能評価," 電子通信学会電子計算機研究会, EC80-14, 1980,